UEFC-5700是第一款采用 Auraus 薄膜沉积工艺改进方法论的 Temescal 系统，极大地改善了 lift-off 镀膜工艺。不使用或仅使用最小型的均匀性修正板即可获得近乎完美的均匀性，并且还能减少高达 40%的材料消耗。
性能优势
超大的装片量-42片150mm晶圆；
在不增加设备占地和功耗的情况下获得额外的40%晶圆装片量；
10分钟内抽真空至5E-07 Torr；
高真空泵水蒸汽总抽速44000l/s；
显著减少的腔室体积和内表面积。
| UEFC-5700电子束蒸发镀膜机 | |
| 腔体类型 | 锥形 |
| 低温水泵 | 44000 L/sec |
| 真空时间 | 1E-06, ＜10mins |
| 电子枪 | 26x25cc， PopTops + 1， fixed pocket |
| 电子枪电源 | 6， 12， 15kw |
| 离子枪 | MKII HC |
| 生产能力 | 42*150mm， 21*200mm |
| 源-基板 | 43英寸 |
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