FC-2000是通用型蒸发镀膜设备，通过选用不同的附件配置，适合几乎所有应
用要求。
性能优势
除了高效运行和兼容洁净室的特点，系统还具有最大的灵活性，以方便使用。 FC-2000 是一款具有快速工艺周期能力以及真空锁结构的系统，可以在装卸基片时让电子束蒸发源保持在高真空状态。
| FC-2000电子束蒸发镀膜机 | |
| 腔体类型 | 钟形罩 |
| 低温水泵 | 4000 L/sec |
| 真空时间 | 1E-06, ＜10mins |
| 电子枪 | 4x25cc， PopTops + 1， fixed pocket |
| 电子枪电源 | 6， 12kw |
| 离子枪 | MKI filament |
| 生产能力 | 42*2mm， 13*100mm |
| 源-基板 | 19.5英寸 |
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